Nitrogen Trifluoride được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp laser hóa học năng lượng cao, công nghiệp điện tử (IC) và công nghiệp quang điện mặt trời Hiện tại, Viện Liming có dây chuyền sản xuất NF3 với sản lượng hàng năm là 2000 tấn, quy trình và thiết bị sản xuất đang ở vị trí hàng đầu tại Trung Quốc
Đặc tính sản phẩm
NF3 là vay nhanh f88 khí không màu, ổn định và độc hại ở nhiệt độ phòng và áp suất khí quyển Trọng lượng phân tử tương đối là 71,002 và nhiệt độ sôi là - 129,06 oC
Hướng dẫn đăng ký
Là một loại khí ăn mòn plasma tuyệt vời trong ngành vi điện tử, nitơ triflorua bị tách thành các ion flo hoạt động trong quá trình ăn mòn ion Các ion flo này có tốc độ ăn mòn và độ chọn lọc tuyệt vời (đối với oxit silic và silic) đối với các hợp vay nhanh f88 silic và vonfram cũng như nitơ triflorua có độ tinh khiết cao Khi khắc, nó không để lại cặn trên bề mặt vật khắc, đây là vay nhanh f88 làm sạch rất tốt
