VI
 
Nitơ triflorua cấp điện tử
PDF252286
Khí NF3 được sử dụng rộng rãi trong laser hóa học năng lượng cao, công nghiệp điện tử (IC) và công nghiệp quang điện mặt trời Hiện tại, Haohua Gas có dây chuyền sản xuất NF3 với sản lượng 2000 tấn/năm, công nghệ và thiết bị sản xuất đứng đầu cả nước
Tính năng sản phẩm
NF3 là chất khí không màu, ổn định và độc hại ở nhiệt độ phòng và áp suất khí quyển Khối lượng phân tử tương đối là 71,002 và nhiệt độ sôi là -129,06°C
Lưu ý về đơn đăng ký
Nitơ triflorua được sử dụng làm khí ăn mòn plasma tuyệt vời trong ngành vi điện tử Nó phân ly thành các ion florua hoạt động trong quá trình ăn mòn ion Các ion florua này có tốc độ ăn mòn và độ chọn lọc tuyệt vời (đối với oxit silic và silic) đối với các hợp chất silic và vonfram Nitơ triflorua có độ tinh khiết cao không để lại bất kỳ dư lượng nào trên bề mặt vật thể bị ăn mòn trong quá trình ăn mòn và là một chất làm sạch rất tốt
Trường ứng dụng
Thiết bị điện, điện tử